ОБЩИЙ ВИД

Модернизированный вариант установки нанесения фоторезиста УНФ-150-Л

НАЗНАЧЕНИЕ

Термостабилизирование подложек на «холодной плите» контактным методом.

Установка легко размещается на лабораторном столе и для работы подключается к водопроводу холодной воды, сливу в канализацию и электричеству.

Режимы работы задаются и программируются с помощью сенсорного текстового дисплея.

Дополнительная опция: контроль времени обработки, измерение температуры поверхности пластины.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

Размеры обрабатываемых пластин:
круглые, диаметр, мм 10-150
прямоугольные, мм 10x10 – 110x110
Габариты установки, мм (ШxГxВ) 380x450x380
Электропитание сеть переменного тока:
напряжение, В 220
частота, Гц 50
Потребляемая мощность, не более, кВт 0,2
Масса, кг 7

Установка удовлетворяет требованиям для эксплуатации в «чистых помещениях» класса Р5 (100) по ГОСТ Р 50 766-95.