ОБЩИЙ ВИД

Модернизированный вариант установки нанесения фоторезиста УНФ-150-Л

НАЗНАЧЕНИЕ

Термообработка подложек на «горячей плите» контактным методом.

Установка легко размещается на лабораторном столе и для работы подключается к электричеству.

Режимы работы задаются и программируются с помощью сенсорного текстового дисплея.

Дополнительная опция: закрытая камера, система вакуумирования камеры, система подачи ГМДС (гексаметилдисилазан) в камеру.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

Размеры обрабатываемых пластин:
круглые, диаметр, мм 10-150
прямоугольные, мм 10x10 – 110x110
Точность поддержания температуры «горячей плиты»:
70-120 °С ±0,3 °С
120-150 °С ±0,5 °С
150-200 °С ±1,0 °С
Диапазон задания температуры «горячей плиты»,°С 35-200
Габариты установки, мм (ШxГxВ) 380x450x380
Электропитание сеть переменного тока:
напряжение, В 220
частота, Гц 50
Потребляемая мощность, не более, кВт 1,5
Масса, кг 7

Установка удовлетворяет требованиям для эксплуатации в «чистых помещениях» класса Р5 (100) по ГОСТ Р 50 766-95.