ОБЩИЙ ВИД
Модернизированный вариант установки нанесения фоторезиста УНФ-150-Л
НАЗНАЧЕНИЕ
Термообработка подложек на «горячей плите» контактным методом.
Установка легко размещается на лабораторном столе и для работы подключается к электричеству.
Режимы работы задаются и программируются с помощью сенсорного текстового дисплея.
Дополнительная опция: закрытая камера, система вакуумирования камеры, система подачи ГМДС (гексаметилдисилазан) в камеру.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:
| Размеры обрабатываемых пластин: | |
| круглые, диаметр, мм | 10-150 |
| прямоугольные, мм | 10x10 – 110x110 |
| Точность поддержания температуры «горячей плиты»: | |
| 70-120 °С | ±0,3 °С |
| 120-150 °С | ±0,5 °С |
| 150-200 °С | ±1,0 °С |
| Диапазон задания температуры «горячей плиты»,°С | 35-200 |
| Габариты установки, мм (ШxГxВ) | 380x450x380 |
| Электропитание сеть переменного тока: | |
| напряжение, В | 220 |
| частота, Гц | 50 |
| Потребляемая мощность, не более, кВт | 1,5 |
| Масса, кг | 7 |
Установка удовлетворяет требованиям для эксплуатации в «чистых помещениях» класса Р5 (100) по ГОСТ Р 50 766-95.