ОБЩИЙ ВИД
Модернизированный вариант установки нанесения фоторезиста УНФ-60-Л
НАЗНАЧЕНИЕ
Формирование плёнок заданной толщины из растворов органических и неорганических полимеров на гладких и рельефных поверхностях пластин круглой и прямоугольной формы. Нанесение пленкообразующих растворов для получения «spin-on glass» пленок.
Установка легко размещается на лабораторном столе и для работы подключается к вытяжной вентиляции и электричеству. Пластины обрабатываются на центрифуге в изолированной камере оснащенной системой вентиляции. Корпус установки изготовлен из полированной нержавеющей стали, камера обработки выполнена из полипропилена или капролона.
Загрузка и выгрузка пластин на столик центрифуги производится вручную. Фиксация пластины на поверхности столика – вакуумная.
Установка комплектуется набором столиков-подложкодержателей. Состав набора – по согласованию с Заказчиком.
Подача фоторезиста на обрабатываемую пластину производится с помощью пипетки.
Установка реализует 2 режима формирования плёнок: нанесение полимера (фоторезиста) на неподвижную или вращающуюся пластину.
Режимы работы задаются и программируются с помощью сенсорного текстового дисплея.
Дополнительная опция: автоматическая подача фоторезиста (полимера) с помощью программно-управляемого дозатора через установленное в крышке камеры сопло.
Дополнительная опция: система обогрева камеры.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:
Размеры обрабатываемых пластин: | |
круглые, диаметр, мм | 35-160 |
прямоугольные, мм | 35x35 – 110x110 |
Диапазон задания частоты вращения, об/мин | 0,1-10000 |
Точность поддержания частоты вращения, % | ±0,01 |
Ускорения, об/мин/с | 20000 |
Дискретность задания времени обработки, с | 1,0 |
Диапазон задания времени обработки, с | 1,0-100 |
Электропитание сеть переменного тока: | |
напряжение, В | 220 |
частота, Гц | 50 |
Потребляемая мощность, не более, кВт | 1,0 |
Габариты установки, мм (ШxГxВ) | 380x450x380 |
Масса, кг | 7 |
Установка удовлетворяет требованиям для эксплуатации в «чистых помещениях» класса Р5 (100) по ГОСТ Р 50 766-95.