ОБЩИЙ ВИД
НАЗНАЧЕНИЕ
Формирование плёнок заданной толщины из растворов органических и неорганических полимеров на гладких и рельефных поверхностях пластин круглой и прямоугольной формы. Нанесение пленкообразующих растворов для получения «spin-on glass» пленок.
Установка легко размещается на лабораторном столе и для работы подключается к вытяжной вентиляции и электричеству. Пластины обрабатываются на центрифуге в изолированной камере оснащенной системой вентиляции. Корпус установки изготовлен из полированной нержавеющей стали, камера обработки выполнена из полипропилена или капролона.
Загрузка и выгрузка пластин на столик центрифуги производится вручную. Фиксация пластины на поверхности столика – вакуумная.
Установка комплектуется набором столиков-подложкодержателей. Состав набора – по согласованию с Заказчиком.
Подача фоторезиста на обрабатываемую пластину производится с помощью пипетки.
Установка реализует 2 режима формирования плёнок: нанесение полимера (фоторезиста) на неподвижную или вращающуюся пластину.
Режимы работы задаются и программируются с помощью сенсорного текстового дисплея.
Дополнительная опция: автоматическая подача фоторезиста (полимера) с помощью программно-управляемого дозатора через установленное в крышке камеры сопло.
Дополнительная опция: система обогрева камеры.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:
| Размеры обрабатываемых пластин: | |
| круглые, диаметр, мм | 10-150 |
| прямоугольные, мм | 10x10 – 102x102 |
| Диапазон задания частоты вращения, об/мин | 0,1-6000 |
| Точность поддержания частоты вращения, % | ±0,01 |
| Ускорения, об/мин/с | 20000 |
| Дискретность задания времени обработки, с | 1,0 |
| Диапазон задания времени обработки, с | 1,0-100 |
| Электропитание сеть переменного тока: | |
| напряжение, В | 220 |
| частота, Гц | 50 |
| Потребляемая мощность, не более, кВт | 1,0 |
| Габариты установки, мм (ШxГxВ) | 610x250x350 |
| Масса, кг | 7 |
Установка удовлетворяет требованиям для эксплуатации в «чистых помещениях» класса Р5 (100) по ГОСТ Р 50 766-95.
Конструкция узлов и деталей удобна для промывки и очистки.
Разработан модернизированный вариант установки УНФ-150-ЛМ.
Отличается наличием химически стойкого корпуса, элементной базой с улучшенными характеристиками и более эффективным алгоритмом управления функциональными приводами, обеспечивающими достижение более высоких значений ряда технических параметров.