ОБЩИЙ ВИД
НА ПРОИЗВОДСТВЕ
НАЗНАЧЕНИЕ
Нагрев подложек различной формы. Материал подложек: кварц, стекло, полупроводники, керамика и т.д.
СОСТАВ УСТАНОВКИ:
- каркас
- блок термообработки
- система управления
Загрузка-выгрузка пластины – ручная, дальнейшая ее обработка – автоматическая.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Размеры обрабатываемых пластин: | |
| круглые, диаметр, мм | 250-420 |
| квадратные, мм | 250-420 |
| Толщина обрабатываемых пластин, мм | 3-60 |
| Максимальный вес пластины, кг | 30 |
| Диапазон задания времени обработки, сек | 1,0-1800,0 |
| Дискретность задания времени обработки, сек | 1,0 |
| Количество ИК нагревателей, шт. | 9 |
| Потребляемая мощность, не более, кВт | 12 |
| Габариты установки, мм (Ш×Г×В) | 830×965×1590 |
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ВОЗМОЖНОСТИ УСТАНОВКИ
- контроль температуры подложки
- контроль температуры каждого ИК нагревателя
- нагрев рабочей камеры