ОБЩИЙ ВИД
НА ПРОИЗВОДСТВЕ
НАЗНАЧЕНИЕ
Установка предназначена для очистки одиночных подложек, прямоугольной, круглой или любой другой произвольной формы из различных материалов (кварц, стекло, полупроводники, керамика и т.д.) с максимальным размером 420×420×50 мм в плазме кислорода и/или аргона.
УСТАНОВКА ОБЕСПЕЧИВАЕТ:
- очистку поверхности подложек от органических загрязнений «островкового» и «пленочного» типов
- активацию поверхности обрабатываемых подложек для улучшения адгезии
- удаление остатков фоторезиста с поверхности подложек
- подготовка поверхности перед выполнением ультразвуковой/термозвуковой сварки
- удаление флюсов с обрабатываемых поверхностей
ОСОБЕННОСТЬ УСТАНОВКИ
- камера большого объема со съёмными поддонами, позволяющая осуществлять на одной и той же установке обработку, как отдельных габаритных, так и большого количества небольших изделий
- ВЧ возбуждение плазменного разряда
- возможность обработки изделий микроэлектроники, чувствительных к заряженным частицам
- возможность проведения процесса очистки изделий, чувствительных к повышенным температурам
СОСТАВ УСТАНОВКИ
- камера обработки
- система вакуумной откачки на основе спирального безмасляного насоса
- система газонапуска
- блок электрический
- система управления установкой
Основные технические характеристики установки
Мощность ВЧ-генератора, кВт | 1,5 |
Частота ВЧ-генератора, мГц | 13,56 |
Температура подложкодержателя, °С | 60÷150 |
Рабочее давление, Па | 8÷100 |
Количество газовых магистралей | 2 |
Габаритные размеры установки, мм | 616×654×1744 |
СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ
Система управления – на базе микроконтроллера с выводом информации на ЖК дисплей, обеспечивает:
- диагностику работоспособности установки
- хранение в памяти не менее 20 программ различных циклов обработки объекта с не менее 20 шагами в каждой программе
- мониторинг и регулирование технологического процесса в реальном масштабе времени
ДЛЯ РАБОТЫ УСТАНОВКА ПОДКЛЮЧАЕТСЯ
- к сети переменного тока напряжением 220\380 В, частотой 50 Гц (нормы качества электроэнергии по ГОСТ 13109-87)
- вытяжной вентиляции, с производительностью не менее 1500м3/час
- контуру заземления
Установка удовлетворяет требованиям для эксплуатации в «чистых помещениях» класса Р5 (100) по ГОСТ Р 50 766-95. Конструкция узлов и деталей удобна для промывки и очистки