ОБЩИЙ ВИД

НА ПРОИЗВОДСТВЕ

НАЗНАЧЕНИЕ

Установка предназначена для очистки одиночных подложек, прямоугольной, круглой или любой другой произвольной формы из различных материалов (кварц, стекло, полупроводники, керамика и т.д.) с максимальным размером 350×350×180 мм в плазме кислорода и/или аргона.

УСТАНОВКА ОБЕСПЕЧИВАЕТ:

  • очистку поверхности подложек от органических загрязнений «островкового» и «пленочного» типов
  • удаление флюсов с обрабатываемых поверхностей
  • удаление остатков фоторезиста с поверхности подложек
  • активацию поверхности обрабатываемых подложек для улучшения адгезии
  • подготовка поверхности перед выполнением ультразвуковой/термозвуковой сварки

ОСОБЕННОСТЬ УСТАНОВКИ

  • камера большого объема с десятью съёмными поддонами, позволяющая осуществлять на одной и той же установке обработку, как отдельных габаритных, так и большого количества небольших изделий
  • НЧ возбуждение плазменного разряда
  • возможность проведения процесса очистки изделий, чувствительных к повышенным температурам
  • возможность обработки изделий микроэлектроники, чувствительных к заряженным частицам

СОСТАВ УСТАНОВКИ

  • камера обработки
  • система вакуумной откачки на основе спирального безмасляного насоса
  • система газонапуска
  • блок электрический
  • система управления установкой
  • пылезащитный ламинарный бокс* (дополнительная опция)

* Пылезащитный бокс обеспечивает класс чистоты 5 ИСО по ГОСТ ИСО 14644-1-2002 в зоне обработки подложек.

Основные технические характеристики установки

Мощность ВЧ-генератора, кВт 1,5
Частота ВЧ-генератора, мГц 13,56
Температура подложкодержателя, °С 60-150
Рабочее давление, Па 50-100
Количество газовых магистралей 2
Габаритные размеры установки, мм 616×654×1744

СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ

Система управления – на базе микроконтроллера с выводом информации на ЖК дисплей. Она обеспечивает:

  • диагностику работоспособности установки
  • хранение в памяти не менее 20 программ различных циклов обработки объекта с не менее 20 шагами в каждой программе
  • мониторинг и регулирование технологического процесса в реальном масштабе времени

ДЛЯ РАБОТЫ УСТАНОВКА ПОДКЛЮЧАЕТСЯ

  • к сети переменного тока напряжением 220\380 В, частотой 50 Гц (нормы качества электроэнергии по ГОСТ 13109-87)
  • вытяжной вентиляции, с производительностью не менее 1500м3/час
  • контуру заземления

Установка удовлетворяет требованиям для эксплуатации в «чистых помещениях» класса Р5 (100) по ГОСТ Р 50 766-95. Конструкция узлов и деталей удобна для промывки и очистки