ОБЩИЙ ВИД

НАЗНАЧЕНИЕ

формирование топологического рисунка (маски) в фоторезистивной пленке на поверхности одиночных подложек, имеющих форму прямоугольных (с плоскопараллельными поверхностями), и круглых пластин, в т.ч. линз и специального остекления из различных материалов (кварц, стекло).

СОСТАВ УСТАНОВКИ:

  • модуль нанесения фоторезиста, размещённый на каркасе, с системой подачи фоторезиста, состоящей из 2-х автоматических систем дозирования;
  • устройство ультразвукового нанесения фоторезиста;
  • устройство струйного нанесения фоторезиста ( с тремя независимыми дозаторами);
  • система вентиляции;
  • система слива;
  • защитный бокс обеспыливания с фильтровентиляционным блоком;
  • панель управления;
  • модуль включения питания.

1 – модуль нанесения фоторезиста; 2 – защитный бокс обеспыливания с фильтровентиляционным блоком; 3 –панель управления; 4 – модуль включения питания

Рис. 1. Установка нанесения фоторезиста на подложки

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Сечения обрабатываемых подложек круг, прямоугольник
Материал подложек кварц, стекло, ...
Размеры сечения подложек:
квадратные со стороной, мм 420±0,1
круглые диаметром, мм 250-420±0,1
прямоугольные с длиной стороны, мм 250-420±0,1
Толщина обрабатываемых пластин, мм 3-60
Максимальный вес обрабатываемых подложек, кг 30
Загрузка и выгрузка подложек на стол центрифуги ручная
Подача реагентов на обрабатываемую подложку автоматическая
Фиксация подложки на поверхности стола по механическим упорам и вакуумом
Диапазон задания частоты вращения, об/мин 50-1500
Точность поддержания частоты вращения, об/мин ±5
Диапазон задания ускорений, об/мин/сек 500-1000
Дискретность задания скорости вращения, об/мин 10
Дискретность задания времени обработки, сек 1,0
Диапазон задания времени обработки, сек 1,0-60
Диапазон дозирования фоторезиста, мл 0,5-250,0
Точность дозирования фоторезиста, мл ±0,2
Потребляемая мощность, не более, кВт 10
Габариты установки, мм (Ш×Г×В) 1840×1296×2434
Масса установки, не более, кг 500

Сбор, отработанного полимера из ванны центрифуги, осуществляется непосредственно в легко извлекаемую емкость.

Электропитание установки производится от трёхфазной пятипроводной сети переменного тока 220/380В, частотой 50Гц с отдельными нулевым, рабочими и защитным проводниками 3/NIPE. Нормы качества электрической энергии в системах электроснабжения общего назначения по ГОСТ 32144-2013.

Для эксплуатации в установку необходимо подать сжатый воздух с давлением не менее 0,6 мПа.

При эксплуатации установку необходимо подсоединить:

  • к системе вытяжной вентиляции с производительностью не менее 1500 м³ / ч;
  • к системе заземления.