ОБЩИЙ ВИД
НАЗНАЧЕНИЕ
формирование топологического рисунка (маски) в фоторезистивной пленке на поверхности одиночных подложек, имеющих форму прямоугольных (с плоскопараллельными поверхностями), и круглых пластин, в т.ч. линз и специального остекления из различных материалов (кварц, стекло).
СОСТАВ УСТАНОВКИ:
- модуль нанесения фоторезиста, размещённый на каркасе, с системой подачи фоторезиста, состоящей из 2-х автоматических систем дозирования;
- устройство ультразвукового нанесения фоторезиста;
- устройство струйного нанесения фоторезиста ( с тремя независимыми дозаторами);
- система вентиляции;
- система слива;
- защитный бокс обеспыливания с фильтровентиляционным блоком;
- панель управления;
- модуль включения питания.

1 – модуль нанесения фоторезиста; 2 – защитный бокс обеспыливания с фильтровентиляционным блоком; 3 –панель управления; 4 – модуль включения питания
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Сечения обрабатываемых подложек | круг, прямоугольник |
Материал подложек | кварц, стекло, ... |
Размеры сечения подложек: | |
квадратные со стороной, мм | 420±0,1 |
круглые диаметром, мм> | 250-420±0,1 |
прямоугольные с длиной стороны, мм> | 250-420±0,1 |
Толщина обрабатываемых пластин, мм | 3-60 |
Максимальный вес обрабатываемых подложек, кг | 30 |
Загрузка и выгрузка подложек на стол центрифуги | ручная |
Подача реагентов на обрабатываемую подложку | автоматическая |
Фиксация подложки на поверхности стола | по механическим упорам и вакуумом |
Диапазон задания частоты вращения, об/мин | 50-1500 |
Точность поддержания частоты вращения, об/мин | ±5 |
Диапазон задания ускорений, об/мин/сек | 500-1000 |
Дискретность задания скорости вращения, об/мин | 10 |
Дискретность задания времени обработки, сек | 1,0 |
Диапазон задания времени обработки, сек | 1,0-60 |
Диапазон дозирования фоторезиста, мл | 0,5-250,0 |
Точность дозирования фоторезиста, мл | ±0,2 |
Потребляемая мощность, не более, кВт | 10 |
Габариты установки, мм (Ш×Г×В) | 1840×1296×2434 |
Масса установки, не более, кг | 500 |
Сбор, отработанного полимера из ванны центрифуги, осуществляется непосредственно в легко извлекаемую емкость.
Электропитание установки производится от трёхфазной пятипроводной сети переменного тока 220/380В, частотой 50Гц с отдельными нулевым, рабочими и защитным проводниками 3/NIPE. Нормы качества электрической энергии в системах электроснабжения общего назначения по ГОСТ 32144-2013.
Для эксплуатации в установку необходимо подать сжатый воздух с давлением не менее 0,6 мПа.
При эксплуатации установку необходимо подсоединить:
- к системе вытяжной вентиляции с производительностью не менее 1500 м³ / ч;
- к системе заземления.