ОБЩИЙ ВИД
НАЗНАЧЕНИЕ
Формирование топологического рисунка (маски) в фоторезистивной пленке на поверхности одиночных подложек, имеющих форму прямоугольных пластин с плоскопараллельными поверхностями, круглых, в т.ч. линз, из различных материалов (кварц, стекло, полупроводники, керамика).
СОСТАВ УСТАНОВКИ:
- каркас
- модуль проявления
- система струйной подачи под давлением проявляющих и ополаскивающих растворов
- система подачи на подложку магистрального очищенного и осушенного воздуха или инертного газа
- блок электрический;
- система управления установкой
- система термостабилизации проявителя и ополаскивающих растворов
- модуль с емкостями подачи растворов
- защитный бокс обеспыливания с фильтровентиляционным блоком
Защитный бокс обеспыливания с фильтровентиляционным блоком обеспечивает класс чистоты 5 ИСО по ГОСТ ИСО 14644-1-2002 в зоне обработки пластин.
Загрузка-выгрузка пластины – ручная, дальнейшая ее обработка – автоматическая.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Размеры обрабатываемых пластин: | |
| круглые, диаметр, мм | 250-420 |
| квадратные, мм | 250-420 |
| Толщина обрабатываемых пластин, мм | 3-60 |
| Максимальный вес пластины, кг | 30 |
| Диапазон задания частоты вращения, об/мин | 30-1000 |
| Точность поддержания частоты вращения, об/мин | ±5 |
| Диапазон задания времени обработки, сек | 1,0-99,9 |
| Дискретность задания времени обработки, сек | 1,0 |
| Диапазон регулирования температуры каналов подачи химических реагентов, °С |
18-40 |
| Потребляемая мощность, не более, кВт | 5 |
| Габариты установки, мм (Ш×Г×В) | 1820×1300×2300 |
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ВОЗМОЖНОСТИ УСТАНОВКИ:
- подача проявителя и ополаскивающих растворов на пластину в статическом и динамическом режимах (сканирование)
- подача проявителя и ополаскивающих растворов в любую заданную точку пластины
- стабилизация и регулирование температуры проявителя и ополаскивающих растворов