ОБЩИЙ ВИД

Оснащение существующего оборудования импортного и отечественного производства многоканальной автоматической системой дозирования полимерных растворов (фоторезистов) с возможностью их термостабилизации.

Управление дозаторами может осуществляться как с отдельной сенсорной панели, так и с ПК верхнего уровня.

Дозирование осуществляется из емкости под малым давлением через пневмоуправляемый клапан с возможностью регулирования обратного хода, что исключает возможность падения капель на обрабатываемую поверхность.

Диапазон дозирования полимера, мл 0,5÷5,0
Точность дозирования, мл ±0,1

КОНТРОЛЛЕРЫ

Система управления может быть исполнена по желанию заказчика на одном из ниже перечисленных контроллеров.