ОБЩИЙ ВИД

НА ПРОИЗВОДСТВЕ

С блоком обеспыливания.

НАЗНАЧЕНИЕ

Формирование на круглой пластине из раствора полимера плёнки с заданными значениями толщины и разнотолщинности.

СОСТАВ УСТАНОВКИ:

  • модуль центрифугирования;
  • модуль термообработки;
  • транспортный робот-манипулятор;
  • модуль загрузки/выгрузки пластин;
  • система управления установкой;
  • модуль термостабилизации фоторезиста;
  • защитный бокс.

Технологические возможности установки:

  • подача раствора полимера на пластину в статическом и динамическом режимах (сканирование);
  • подача раствора полимера в любую заданную точку пластины;
  • подача раствора полимера дозатором;
  • стабилизация и регулирование температуры раствора полимера;
  • удаление аэрозоля полимера с обратной стороны пластин;
  • удаление полимера с торца пластин;
  • удаление краевого валика;
  • автоматическая промывка ванны растворителем;
  • регулируемая вытяжная система модуля нанесения;
  • термообработка пластин на «горячей плите» контактным методом или на зазоре.

Потребительские характеристики установки:

Диаметр обрабатываемых пластин, круглых, мм 76÷150
Привносимая дефектность для частиц размером >0,2 мкм <0,05 деф./см2
Среднее время наработки на отказ (MTBF), час 500
Среднее время ремонта (MTTR), час 1
Габариты установки, мм (ШxГxВ) 1030x750x2000

Основные технические характеристики:

Диапазон задания частоты вращения, об/мин 0,1÷10000
Точность поддержания частоты вращения, % ±0,01
Ускорение, об/мин/с 20000
Дискретность задания частоты вращения, об/мин 10
Диапазон регулирования температуры фоторезиста, °С 18-50 ±0,1
Дискретность задания времени обработки, сек 1,0
Диапазон задания времени обработки, сек 1,0-999
Диапазон дозирования фоторезиста, мл 0,5-5,0
Точность дозирования, мл ±0,1
Диапазон задания температуры «горячей плиты», °С 70÷200
Точность поддержания температуры «горячей плиты»:
70-120°С ±0,3 °С
120-150 °С ±0,5 °С
150-200 °С ±1,0 °С
Потребляемая мощность, не более, кВт 2,5

СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ УСТАНОВКОЙ:

  1. Система управления - на базе промышленной IBM PC.
  2. Система управления обеспечивает:
    • диагностику работоспособности установки;
    • хранение в памяти не менее 5 программ различных циклов обработки объекта;
    • мониторинг и регулирование технологического процесса в реальном масштабе времени (постоянную индикацию реальных технологических параметров и времени протекания процесса обработки объектов).
    • автоматическое поддержание технологических параметров процесса по загруженной заданной программе, обеспечение стабильности и воспроизводимости параметров;
    • возможность аварийного отключения установки.

Для работы установка подключается:

  • к однофазной электрической сети переменного тока напряжением 380/220 В, частотой 50 Гц; нормы качества электроэнергии по ГОСТ 13109-87;
  • сети сжатого, обеспыленного воздуха с давлением 0,4-0,6 МПа;
  • вытяжной вентиляции, с производительностью не менее 50 м3/час;
  • сети технической воды с температурой не более 14-16 °С;
  • контуру заземления.

Конструкция узлов и деталей удобна для промывки и очистки.

Установка удовлетворяет требованиям для эксплуатации в «чистых помещениях» класса Р5 (100) по ГОСТ Р 50 766-95.