ОБЩИЙ ВИД
НА ПРОИЗВОДСТВЕ
С блоком обеспыливания.
НАЗНАЧЕНИЕ
Формирование на круглой пластине из раствора полимера плёнки с заданными значениями толщины и разнотолщинности.
СОСТАВ УСТАНОВКИ:
- модуль центрифугирования;
- модуль термообработки;
- транспортный робот-манипулятор;
- модуль загрузки/выгрузки пластин;
- система управления установкой;
- модуль термостабилизации фоторезиста;
- защитный бокс.
Технологические возможности установки:
- подача раствора полимера на пластину в статическом и динамическом режимах (сканирование);
- подача раствора полимера в любую заданную точку пластины;
- подача раствора полимера дозатором;
- стабилизация и регулирование температуры раствора полимера;
- удаление аэрозоля полимера с обратной стороны пластин;
- удаление полимера с торца пластин;
- удаление краевого валика;
- автоматическая промывка ванны растворителем;
- регулируемая вытяжная система модуля нанесения;
- термообработка пластин на «горячей плите» контактным методом или на зазоре.
Потребительские характеристики установки:
Диаметр обрабатываемых пластин, круглых, мм | 76÷150 |
Привносимая дефектность для частиц размером >0,2 мкм | <0,05 деф./см2 |
Среднее время наработки на отказ (MTBF), час | 500 |
Среднее время ремонта (MTTR), час | 1 |
Габариты установки, мм (ШxГxВ) | 1030x750x2000 |
Основные технические характеристики:
Диапазон задания частоты вращения, об/мин | 0,1÷6000 |
Точность поддержания частоты вращения, % | ±0,01 |
Ускорение, об/мин/с | 20000 |
Дискретность задания частоты вращения, об/мин | 10 |
Диапазон регулирования температуры фоторезиста, °С | 18-50 ±0,1 |
Дискретность задания времени обработки, сек | 1,0 |
Диапазон задания времени обработки, сек | 1,0-999 |
Диапазон дозирования фоторезиста, мл | 0,5-5,0 |
Точность дозирования, мл | ±0,1 |
Диапазон задания температуры «горячей плиты», °С | 70÷200 |
Точность поддержания температуры «горячей плиты»: | |
70-120°С | ±0,3 °С |
120-150 °С | ±0,5 °С |
150-200 °С | ±1,0 °С |
Потребляемая мощность, не более, кВт | 2,5 |
СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ УСТАНОВКОЙ:
- Система управления - на базе промышленной IBM PC.
- Система управления обеспечивает:
- диагностику работоспособности установки;
- хранение в памяти не менее 5 программ различных циклов обработки объекта;
- мониторинг и регулирование технологического процесса в реальном масштабе времени (постоянную индикацию реальных технологических параметров и времени протекания процесса обработки объектов).
- автоматическое поддержание технологических параметров процесса по загруженной заданной программе, обеспечение стабильности и воспроизводимости параметров;
- возможность аварийного отключения установки.
Для работы установка подключается:
- к однофазной электрической сети переменного тока напряжением 380/220 В, частотой 50 Гц; нормы качества электроэнергии по ГОСТ 13109-87;
- сети сжатого, обеспыленного воздуха с давлением 0,4-0,6 МПа;
- вытяжной вентиляции, с производительностью не менее 50 м3/час;
- сети технической воды с температурой не более 14-16 °С;
- контуру заземления.
Конструкция узлов и деталей удобна для промывки и очистки.
Установка удовлетворяет требованиям для эксплуатации в «чистых помещениях» класса Р5 (100) по ГОСТ Р 50 766-95.