ОБЩИЙ ВИД

НАЗНАЧЕНИЕ

Очистка поверхности одиночных подложек, имеющих форму прямоугольных пластин с плоскопараллельными поверхностями, круглых, в т.ч. линз, из различных материалов (кварц, стекло, полупроводники, керамика).

СОСТАВ УСТАНОВКИ:

  • каркас
  • модуль очистки
  • система струйной подачи под давлением моющих и ополаскивающих растворов
  • система мегазвуковой подачи моющих и ополаскивающих растворов
  • блок электрический;
  • система управления установкой
  • система термостабилизации проявителя и ополаскивающих растворов
  • модуль с емкостями подачи растворов
  • защитный бокс обеспыливания с фильтровентиляционным блоком

Защитный бокс обеспыливания с фильтровентиляционным блоком обеспечивает класс чистоты 5 ИСО по ГОСТ ИСО 14644-1-2002 в зоне обработки пластин.

Загрузка-выгрузка пластины – ручная, дальнейшая ее обработка – автоматическая.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Размеры обрабатываемых пластин:
круглые, диаметр, мм 250-420
квадратные, мм 250-420
Толщина обрабатываемых пластин, мм 3-60
Максимальный вес пластины, кг 30
Диапазон задания частоты вращения, об/мин 30-1000
Точность поддержания частоты вращения, об/мин ±5
Диапазон задания времени обработки, сек 1,0-99,9
Дискретность задания времени обработки, сек 1,0
Диапазон регулирования температуры каналов
подачи химических реагентов, °С
18-40
Частота мегазвукового генератора, МГц не менее 1,5
Потребляемая мощность, не более, кВт 5
Габариты установки, мм (Ш×Г×В) 1820×1300×2300

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ВОЗМОЖНОСТИ УСТАНОВКИ

  • подача проявителя и ополаскивающих растворов на пластину в статическом и динамическом режимах (сканирование)
  • подача проявителя и ополаскивающих растворов в любую заданную точку пластины
  • стабилизация и регулирование температуры проявителя и ополаскивающих растворов