Разработка оборудования по ТЗ Заказчика:
средства автоматизации технологических процессов
плазмо – химическая обработка
фотолитография

КБТМ

8 (473) 233 11 03

г.Воронеж, пр-д Ясный, 4

  • Главная
  • Каталог продукции
  • Видео
  • Доставка
  • Контакты

Каталог продукции

  • Нанесение фоторезистов в микроэлектронике
    • Установка нанесения фоторезиста автоматическая УНФ-150А
    • Установка нанесения фоторезиста с термообработкой УНФ-150M
    • Полуавтоматическая установка нанесения фоторезиста УНФ-150ТП с термообработкой
    • Установка нанесения фоторезиста настольная УНФ-150-Л
    • Установка нанесения фоторезиста настольная УНФ-150-ЛМ
  • Нанесение фоторезистов в оптике и радиотехнике
    • Установка нанесения фоторезиста CPF-200
    • Установка нанесения на подложки полуавтоматическая для объектов массой до 30 кг
    • Установка нанесения фоторезиста полуавтоматическая УНФ-1000ПА
      для объектов массой до 4 кг
  • Проявление фоторезистов
    • Установка проявления подложек полуавтоматическая для объектов массой до 30 кг
    • Установка очистки подложек полуавтоматическая с модулем
      мегазвуковой очистки для объектов массой до 30 кг
    • Установка проявления фоторезиста и очистки поверхности пластин настольная УПФ-150-Л
  • Плазмо-химическая обработка
    • Установка плазмохимической очистки и активации поверхности ПХОА-5300
    • Установка плазмохимического травления ПХТ-300
    • Установка химической очистки
    • Установка химического травления
  • Термообработка
    • Установка ИК нагрева подложек УИКН-420
    • Установка термообработки пластин настольная УТП-150-Л
    • Установка термостабилизации пластин настольная УТС-150-Л
  • Нанесение фоторезистов в микроэлектронике
    • Установка нанесения фоторезиста автоматическая УНФ-150А
    • Установка нанесения фоторезиста с термообработкой УНФ-150M
    • Полуавтоматическая установка нанесения фоторезиста УНФ-150ТП с термообработкой
    • Установка нанесения фоторезиста настольная УНФ-150-Л
    • Установка нанесения фоторезиста настольная УНФ-150-ЛМ
  • Нанесение фоторезистов в оптике и радиотехнике
    • Установка нанесения фоторезиста CPF-200
    • Установка нанесения на подложки полуавтоматическая для объектов массой до 30 кг
    • Установка нанесения фоторезиста полуавтоматическая УНФ-1000ПА
      для объектов массой до 4 кг
  • Проявление фоторезистов
    • Установка проявления подложек полуавтоматическая для объектов массой до 30 кг
    • Установка очистки подложек полуавтоматическая с модулем
      мегазвуковой очистки для объектов массой до 30 кг
    • Установка проявления фоторезиста и очистки поверхности пластин настольная УПФ-150-Л
  • Плазмо-химическая обработка
    • Установка плазмохимической очистки и активации поверхности ПХОА-5300
    • Установка плазмохимического травления ПХТ-300
    • Установка химической очистки
    • Установка химического травления
  • Термообработка
    • Установка ИК нагрева подложек УИКН-420
    • Установка термообработки пластин настольная УТП-150-Л
    • Установка термостабилизации пластин настольная УТС-150-Л

© 2000-2022 ВКБТМ (Все права защищены)