Творческое сотрудничество ведущих специалистов воронежского научно – исследовательского института полупроводникового машиностроения и учёных международного института компьютерных технологий (МИКТ) в рамках совместных НИОКР заложили основные инженерные и научные традиции конструкторского бюро технологических машин (КБТМ), созданного в начале 2000-х годов как структурное подразделение МИКТ.

Для различных отраслей промышленности и производств мы разрабатываем и выпускаем следящие позиционные и транспортные устройства, механизмы подачи, ориентации, точного позиционирования, загрузки – выгрузки, а также системы управления движением рабочих органов с заданными угловой или линейной скоростями и ускорениями, обеспечивающие высокие точности поддержания параметров движения, включая режимы работы с компенсацией внешних возмущающих воздействий и/или небаланса нагрузки.

КБТМ разрабатывает и выпускает автоматизированное и роботизированное оборудование для различных технологических процессов, в том числе, таких как технологии фотолитографии, применяемые не только в микроэлектронике для создания полупроводниковых структур, но и в радиоэлектронике для разработки современной дискретной элементной базы широкого назначения, в оптике для обработки стёкол и линз или создания на их поверхности топологических слоёв, в механотронике и робототехнике для производства новых изделий на базе тензо-, пьезо-, сегнето-, а также магниточувствительных измерительных элементов микроэлектромеханических систем.

Мы выпускаем широкий ряд установок нанесения и проявления фоторезистов: от настольных до сверхтяжёлых, обеспечивающих обработку объектов массой до 30 кг; в том числе включающие в свой состав специальные модули для технологических операций и работающие как в полуавтоматическом так и в автоматическом режимах, то есть как с модулями для транспортировки объектов, так и без них.

Для химической обработки объектов мы предлагаем установки очистки и травления с широким набором реализуемых функций.

Также мы предлагаем установки «холодной» плазмо-химической очистки поверхностей кристаллов от покрывающих их плёнок из органических и неорганических фоточувствительных материалов, полимеров и металлов, а также иных органических и неорганических частиц, загрязняющих рабочие поверхности при корпусировании кристаллов и разварке контактных соединений (выводов) радиоэлектронных компонентов. Мы предлагаем новые, оригинальные технические решения конструктивной реализации реакторов для обработки поверхностей объектов с различной геометрией и разными физическими свойствами, отличающиеся по сравнению с известными большей устойчивостью и равномерностью протекания процесса.

После механообработки (полировки) рабочих поверхностей линз из разных материалов ухудшаются их оптические свойства. Обработка этих поверхностей потоком «холодной» плазмы позволяет качественно обеспечить более высокий класс обработки (наношероховатость) без ухудшения оптических свойств (прозрачности).

В машиностроении плазмо-химическая обработка не закалённых деталей позволяет повысить их твёрдость до того же уровня, что даёт закалка, при этом нет температурных деформаций и нет изменения размеров (ядра атомов азота проникают вглубь кристаллической решётки обрабатываемой поверхности металла). Метод обработки позволяет кардинально улучшить коррозионную стойкость обработанных объектов, более того, повысить их химическую стойкость. С точки зрения энергоэффективности метод более предпочтителен, чем закалка.

На рынке медицинского оборудования в связи с широким использованием в передовых медицинских технологиях специальных инструментов, нуждающихся в стерилизации и имеющих конструкцию с длинными рабочими каналами, особенно при их малых диаметрах, или изготовленных из термолабильных материалов, появились установки низкотемпературной плазмохимической стерилизации (ПХС). Ещё одна причина их востребованности – потребность медицинских служб, для которых одним из особо важных факторов является длительность цикла стерилизации, компактность и минимальное энергопотребление используемого оборудования. Кроме того, известно, что ряд вирусов при воздействии на них высоких температур успевают перейти из органической в неорганическую форму, то есть градиент действующих температур не изменяется достаточно быстро для этих форм. Создание автоклавов, обеспечивающих данное требование зачастую затруднено массо–габаритными ограничениями или ограничениями по предельным энергетическим показателям для конкретных классов медицинского оборудования. Установки ПХС свободны от указанных недостатков.

Наличие собственного опытно-экспериментального производства позволяет не только выпускать конкурентную продукцию, но и длительное время тестировать новые технологические установки, в том числе при помощи специально разработанной системы on-line диагностики, благодаря чему ведущие разработчики имеют возможность совершенствовать выпускаемое оборудование, доводя его до состояния, пригодного для организации серийного производства.

В настоящее время разработки КБТМ внедрены в производство в целом ряде известных предприятий и организаций: Ордена Трудового Красного Знамени «Институт химии силикатов» имени И.В. Гребенщикова, АО «Государственный оптический институт» им. Вавилова, ФГУП «Всероссийский научно – исследовательский институт метрологии» имени Д.И. Менделеева, г. Санкт - Петербург, АО «НПО «ЛЭМЗ» г. Москва, АО «ТАГАТ» им. С.И. Лившица, г. Тамбов и др.